树脂结合剂金刚石砂轮精密磨削单晶硅片的磨削力研究

摘要：

通过对树脂结合剂金刚石砂轮磨削单晶硅片的轴向磨削力Fz的变化规律的研究,分析了单晶硅片在磨削过程中轴向磨削力与磨削工艺参数之间的关系.通过改变砂轮的轴向进给速度、砂轮线速度和砂轮粒度等工艺参数,找出了这些工艺参数对轴向磨削力Fz的影响规律,并建立了轴向磨削力的经验公式.结果表明:树脂结合剂金刚石精密磨削单晶硅片时,轴向磨削力随着砂轮的轴向进给速度vf和磨粒粒径的增大而增大,随着砂轮线速度vs的增大而减小,且这三个工艺参数中,砂轮轴向进给速度vf对轴向磨削力的影响最大.

关键词：单晶硅、磨削力、金刚石砂轮、精密磨削

所属期刊栏目：32

分类号：TG58;TG74(金属切削加工及机床)

资助基金：国家自然科学基金U0734008;广东省自然科学基金资助项目8151009001000048

在线出版日期：2012-12-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：19-21,26