大口径方形非球面镜的高效磨削技术研究

摘要：

本文基于X/Y/Z三直线轴平面磨床,研究了圆弧砂轮应用于大口径方形非球面镜的平行磨削新技术,介绍了圆弧砂轮平行磨削的机理、重点解决了砂轮形状误差在线检测、元件面形误差在线检测与误差补偿等关键技术问题.以430 mm×430 mm非球面镜为样件,进行了多轮高效精密磨削工艺实验,面形精度PV均值为4.2μm,表面粗糙度约0.1μm(RMS).

关键词：非球面、高效磨削、误差补偿、在位测量

所属期刊栏目：31

分类号：TG58(金属切削加工及机床)

在线出版日期：2011-07-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：74-78