固结磨料研磨与抛光的研究现状与展望

摘要：

分析了传统游离磨料研磨抛光存在的缺点和固结磨料的研磨抛光的优点;阐述了固结磨料研磨抛光的材料去除机制以及固结磨料研磨盘抛光技术在氮化硅陶瓷加工、半导体制程中的应用;介绍了多种固结磨料研磨盘、抛光垫的制作方法;并展望了固结磨料的研磨抛光的发展趋势.

关键词：固结磨料、抛光垫、研磨、抛光

分类号：TG58;TG74(金属切削加工及机床)

资助基金：国家自然科学基金;江苏省精密与微细制造技术重点实验室项目

在线出版日期：2009-12-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：17-22