大孔径内孔表面金刚石薄膜涂层的制备

摘要：

应用热丝化学气相沉积(HFCVD)工艺,并采用合适的衬底预处理方法和优化的工艺参数,在大孔径硬质合金内孔表面沉积了金刚石薄膜.分别采用SEM、EDS和喇曼光谱依次对衬底预处理前后内孔表面及沉积的金刚石薄膜进行了表征,并通过压痕实验评估了薄膜的附着强度.该压痕实验结果与薄膜的SEM及喇曼光谱表征的结果具有一致性.结果表明:采用合适的衬底预处理方法和优化的HFCVD工艺,可以在大孔径硬质合金内孔表面沉积高质量的金刚石薄膜.

关键词：金刚石薄膜、衬底预处理、热丝化学气相沉积

分类号：TQ164

资助基金：上海市科技创新行动计划;上海市科技创新行动计划

在线出版日期：2009-12-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：13-16,22