化学机械抛光中抛光垫修整的作用及规律研究

摘要：

抛光垫修整是化学机械抛光的重要过程之一.修整后抛光垫的性能主要由修整器的性能和相关的工艺参数决定.本文介绍常用金刚石修整器的颗粒性能、胎体材料及相关工艺参数,总结金刚石修整器在不同条件下对修整性能的影响规律,发现:金刚石颗粒的类型影响修整效率,RAS越大,修整效率越高;颗粒尺寸的增大有利于提高修整效率;粘结力的增大,可以提高修整效率和使用寿命;颗粒的均匀排列有助于抛光垫表面沟槽的形成;使用陶瓷作为胎体材料,可以提高使用寿命;修整压力及转速的增大,可以提高修整效率;修整温度会对抛光垫的沟槽、微孔及硬度产生影响,温度的升高,可以改善修整质量;修整密度越大,抛光垫的磨损率越高.最后对金刚石修整器的发展趋势做出展望.

关键词：化学机械抛光、抛光垫、修整、金刚石颗粒

分类号：TQ164

资助基金：广东省科技攻关计划;广东省自然科学基金;教育部留学回国人员科研启动基金

在线出版日期：2007-12-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：58-63