有限元法计算模拟金刚石合成腔内的电学场

摘要：

本文运用有限元法和专业有限元分析软件计算模拟出了金刚石合成腔内的电势、电场强度及电流密度.并对计算结果进行了后处理,绘制出了合成腔内各电学场的云图等高线,以及合成棒的对称轴线和母线上电流密度分布的二维曲线图.这些后处理结果定量而直观地描绘出了金刚石合成腔内电学场的分布规律:导电钢碗附近的电流密度最大;距离钢碗越远,腔体边缘的电流密度越小,电流逐渐由边缘向中心轴汇聚.最后,我们分析认为,这种不均匀的分布是由于导电钢碗的截面积过小造成的,同时这也将影响合成腔内温度场的分布.

关键词：有限元法、工业金刚石、电学场

分类号：TQ16

资助基金：国家自然科学基金50572032

在线出版日期：2006-07-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：4-7