飞秒激光对多光谱滤波片的损伤阈值研究

摘要：

为了测量飞秒激光对多光谱滤波片的损伤阈值,采用钛:蓝宝石飞秒脉冲激光(800nm、50fs)对多光谱滤光片的前膜进行了激光损伤阈值的实验研究,并使用显微镜观测了滤光片前膜的损伤形貌.结果表明,薄膜在不同脉冲辐照次数(1,2,5和10)下,前膜损伤阈值分别为1.68J/cm2,1.56J/cm2,1.44J/cm2和1.42J/cm2,随着脉冲辐照次数的增加,损伤阈值降低,激光脉冲的重复辐射会对薄膜形成累积效应;由于飞秒激光的宽度极短,薄膜导带电子由多光子电离产生,并迅速吸收激光能量,当其能量大于材料的带隙能时,会与价带电子发生碰撞产生另一个电子,进而形成大量的自由电子,对薄膜造成损伤;在1-on-1和2-on-1测试方法下,随着飞秒激光能量密度的增加,前膜损伤区域的轮廓越来越清晰、规整,并逐渐出现清晰的分层现象,这归因于前膜干涉场的分布不同.该研究对多光谱滤波光膜在飞秒激光作用下的损伤效果提供了参考.

关键词：薄膜、激光损伤、飞秒激光、损伤阈值、累积效应、干涉场

所属期刊栏目：46

分类号：O484.4+1(固体物理学)

在线出版日期：2022-09-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：697-701