平行度误差激光准直法测量技术研究

摘要：

为了实现平行度误差的精确测量,提出了基于位置敏感探测器(PSD)激光准直法的平行度误差测量方法,并设计了实验测量系统.该系统利用倒置望远镜结构二次透镜变换的方法,对准直激光束的发散角和光斑大小进行平衡,通过光学五棱镜转折光路,由PSD将测量位移经信号调理电路和数据采集及处理系统,实时得到测点相对于基准的位置,再以最小包容区域法快速评定出被测要素和基准要素两者之间的平行度误差.结果表明,系统相对不确定度为0.077％,具有较高的测量精度.该研究为平行度误差的精密测量技术提供了有效测量方法,具有一定的现实指导意义.

关键词：激光技术、平行度误差、激光准直、位置敏感探测器、最小区域

所属期刊栏目：46

分类号：TN247;TL816+.5(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2022-09-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：674-679