利用ITO微纳结构提高石墨烯紫外LED光提取效率

摘要：

为了改善因为铟锡氧化物(ITO)薄层对紫外光具有高吸收率,从而导致石墨烯紫外LED低光提取效率(LEE)问题,采用ITO微纳结构(矩形和三角形)作为石墨烯紫外LED缓冲层的方法,利用时域有限差分法,对ITO微纳结构进行优化,并对石墨烯紫外LED进行了理论分析.结果表明,当矩形微纳结构厚度为160nm、占空比为0.7、周期为220nm时,在单层石墨烯下紫外LED的LEE可达10.668％;利用矩形微结构作为插入层相比于利用ITO薄层作为插入层的单层石墨烯紫外LED提高了45.06％;而当三角微纳结构在最优参量时,石墨烯紫外LED的LEE仅有6.64％,明显低于ITO薄层石墨紫外LED.该研究可为后续制备高光功率的紫外LED提供理论基础.

关键词：光电子学、发光二极管、石墨烯、光提取效率、微纳结构、铟锡氧化物

所属期刊栏目：45

分类号：TN312+.8(半导体技术)

资助基金：国家自然科学基金资助项目;中国科学院前沿科学重点研究资助项目;衢州市科技计划资助项目

在线出版日期：2021-03-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：186-190