基于条纹反射法的平面镜面形测量

摘要：

为了评价平面镜面形误差,采用基于条纹反射法的面形检测原理、通过平面镜法线偏移实现面形误差评价的方法.将正弦条纹投射至光屏,经被测平面镜反射至相机,通过小孔成像原理和四步相移法获得被测平面镜上一点的法线,并与经最小二乘算法面形重建的该点理论法线比较,获得该点法线偏移,利用法线偏移实现对平面镜的面形评价.对测量方法进行计算机仿真,以证明其正确性;搭建实验测量系统,并对某一款手机屏幕进行测量实验.结果表明,该测量方法的重复性精度优于1mrad,测量重复性高.该研究为玻璃面板等具有高反射特性的平面面形误差提供了参考.

关键词：光栅、平面镜、面形检测、条纹反射法、法线偏差

所属期刊栏目：44

分类号：TN247;TP391.4(光电子技术、激光技术)

资助基金：北京市教委科技计划重点资助项目KZ201711232029

在线出版日期：2020-11-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：668-673