矩形光栅局部结构误差对衍射效率的影响

摘要：

为了提高高光谱遥感技术的分析精度,利用标量衍射理论,对矩形光栅局部结构误差的衍射效率进行了分析,并计算了光栅局部周期和缝宽误差对衍射效率的影响.结果表明,当加工误差使得光栅局部缝宽变大时,会造成光栅各主极大(除零级)衍射光强变小,这一误差对 ±1级处的衍射光强影响相对较小,随着误差的增加,越高的衍射级次其光强下降得越快;而当加工误差使得光栅局部缝宽变小时,会造成光栅各主极大(除零级)衍射光强变大,同样,当误差变大时,相对 ±1级的衍射光受到的影响而言,级次越高对应的主极大衍射光强增大得越快.该研究对于加工矩形光栅减小局部周期和缝宽误差控制提供了参考.

关键词：光栅、衍射效率、标量衍射理论、局部结构误差

所属期刊栏目：43

分类号：TN253(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家八六三高技术研究发展计划资助项目2015AA8042038

在线出版日期：2019-09-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：635-640