PET复合衬底上梯度介质薄膜厚度的椭偏表征

摘要：

为了监控3维玻璃上聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)复合衬底介质膜膜厚,采用将PET复合衬底等效为单层基底材料的建模分析方法,通过椭偏测量技术实现了复杂衬底上TiO 2梯度折射率材料薄膜厚度的检测.结果表明,采用该方法测量的PET复合衬底上TiO 2梯度折射率薄膜厚度为212.48nm,扫描电子显微镜的测量结果为211nm,结果非常准确.以TiO 2为例验证了等效衬底方法,该方法也同样适用于其它介质膜.等效衬底法可实现PET复合衬底上的TiO2薄膜厚度的高精度测量表征,对镀膜工艺过程监控具有重要意义.

关键词：测量与计量、聚对苯二甲酸乙二醇酯、复合衬底、介质膜、光谱椭偏、膜厚

所属期刊栏目：43

分类号：TN249(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家重点研发计划资助项目2017YFF0204705

在线出版日期：2019-06-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：585-590