基于共振光隧穿效应的加速度传感器

摘要：

为了设计新型的加速度传感器,将共振光隧穿结构应用于传感元件,利用COMSOL软件对传感器的频率响应、灵敏度性能等关键要素进行了模拟仿真分析,搭建了实验平台,验证了共振光隧穿原理.结果表明,基于共振光隧穿效应结构的加速传感器在1 00Hz~3000Hz范围内、加速度为500m/s2的情况下,灵敏度可达到6.7dB/g.该传感器小巧轻便、结构简单,且具有较高的灵敏度,这为光学传感器的研究提供了新的方法和思路,具有广阔的应用前景.

关键词：传感器技术、共振光隧穿效应、加速度传感器、灵敏度、谐响应

所属期刊栏目：43

分类号：TP212.1+4(自动化技术及设备)

资助基金：国家自然科学基金资助项目61501316,61471255,61474079,51505324,51622507;山西省优秀人才科技创新资助项目201605D211027,201605D211023;山西省回国留学人员资助项目2015-047;国家高技术研究发展计划资助项目2015AA042601

在线出版日期：2019-02-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：43-47