红外激光刻蚀微热管复合沟槽的工艺研究

摘要：

为了得到红外激光在微热管铜基板表面刻蚀复合沟槽的过程中,不同激光工艺参量(激光重复频率、扫描速率、扫描次数)对复合沟槽尺寸和形貌的影响规律,采用单因素实验法进行了红外激光刻蚀微热管复合沟槽的工艺实验研究,确定了使用1064nm波长红外光纤激光器刻蚀微热管复合沟槽的合理工艺参量.结果表明,当激光重复频率为40kHz、扫描速率为150mm/s、扫描次数为25次时,红外激光刻蚀的复合沟槽能为微热管工质的回流提供较大的毛细压力.该研究对提高沟槽式微热管的传热性能具有参考意义.

关键词：激光技术、激光刻蚀、复合沟槽、影响规律、最大毛细压力、微热管

所属期刊栏目：42

分类号：TN249(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家自然科学基金资助项目50675038,51175092;广东省自然科学基金资助项目S2013010014070;广州市科技计划资助项目20160710156

在线出版日期：2018-03-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：276-281