皮秒激光旋切加工微孔试验研究

摘要：

为了解决毫/纳秒激光加工微孔质量低的问题,利用脉冲宽度为200ps的脉冲激光,采用高速旋切法对厚度为0.2mm的SUS 304不锈钢薄板进行直径为200μm的微孔加工试验,用激光共聚焦显微镜观察孔的外观形貌,研究旋切速率、激光功率和离焦量等因素对孔径、锥度和热影响区等加工质量的影响.结果表明,旋切速率对微孔内壁质量有直接的影响;通过提高转速来降低激光脉冲重叠率可以减小微孔内壁的热影响区;适当增加激光功率,能够改善旋切加工微孔切口处的加工质量;采用正离焦加工能够一定程度减小孔的锥度.优化工艺参量能够加工出热影响区小、边缘质量好的小锥度微孔.

关键词：激光技术、微孔、高速旋切法、皮秒激光、脉冲重叠率、锥度

所属期刊栏目：42

分类号：TG665

资助基金：国家自然科学基金资助项目51775289;山东省科技厅重大关键技术资助项目2016ZDJS02A15;山东省泰山学者工程专项经费资助项目ts201511038;温州市科技局公益性科技计划资助项目G20170014;青岛市创新领军人才计划资助项目

在线出版日期：2018-03-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：234-238