准分子激光器中张氏面型电极的电场仿真研究

摘要：

为了获得准分子激光器高脉冲能量输出,采用张氏面型电极的理论,设计了一套能产生大面积均匀电场的紧凑型电极.通过ANSYS软件数值仿真获得了电极表面电场分布,并与紧凑型张氏面型电极的理论计算结果进行了对比验证;分析了紫外火花预电离结构对电极放电的影响,并进行了电位和电场分布仿真.结果表明,预电离板的存在直接影响了电极之间的电位和电场分布;电场仿真结果解释了预电离板的顶端与阳极形成放电的原因.该研究为大面积辉光放电电极设计提供了更深入的理论支持.

关键词：光学器件、激光器、电场分布、数值仿真、紧凑型张氏面型电极

所属期刊栏目：41

分类号：TN248.2(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家自然科学基金资助项目61307112

在线出版日期：2017-09-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：680-683