10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2016.05.030
水射流激光复合刻蚀陶瓷的研究
为了改善激光直接刻蚀过程中形貌普遍较差的问题,采用水射流激光复合刻蚀的方法,以SiC复相陶瓷和Al2 O3陶瓷为研究材料,分析了有无水射流条件下的形貌差异以及不同成分陶瓷的形貌差异,并在此基础上研究了水射流流速对刻蚀深度和蚀除量的影响。结果表明,直接刻蚀时,大量熔渣附于刻蚀表面,刻蚀形貌较差,SiC复相陶瓷60%以上直接气化分解,熔渣较少,形貌稍好于Al2 O3陶瓷;复合刻蚀时,刻蚀形貌有所变好,且水射流流速在24m/s时的形貌要好于16 m/s时的;水射流流速越大,材料的刻蚀深度和蚀除量越小,流速每增大2 m/s时,材料的蚀除量平均减少0.066mm3左右,相同流速下,SiC复相陶瓷的蚀除量比Al2 O3陶瓷大0.4mm3左右。此研究对提高刻蚀形貌和分析不同陶瓷的刻蚀机理是有帮助的。
激光技术、复合刻蚀、SiC复相陶瓷、Al2 O3 陶瓷、水射流
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TN249(光电子技术、激光技术)
国家自然科学基金资助项目51175229
2016-09-26(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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