248 nm准分子激光加工玻璃微通道的实验研究

摘要：

为了提高玻璃微通道的加工效率及质量，采用248 nm准分子激光加工玻璃微通道的新型加工方法进行了理论分析和实验验证，取得了不同激光参量下玻璃微通道的加工工艺数据。结果表明，激光加工玻璃微通道的刻蚀阈值为4．54×103 mJ／mm2；随着激光能量的增加，刻蚀深度近似成对数增长，经线性拟合得到刻蚀深度随激光能量变化的公式；随着脉冲频率的增加，刻蚀深度近似成线性增长，经线性拟合得到刻蚀深度随频率变化的公式；且通道底面粗糙度随激光能量及脉冲频率的增加，呈增长趋势；激光的能量在400mJ～600mJ、脉冲频率在4Hz～7Hz范围的组合激光参量可实现刻蚀率高、粗糙度小的微通道加工。这些结果对于合理选择激光参量、提高玻璃微通道的加工效率及质量是有帮助的。

关键词：激光技术、玻璃微通道、248 nm激光、激光参量、刻蚀效率、刻蚀质量

所属期刊栏目：40

分类号：TN249(光电子技术、激光技术)

资助基金：北京市自然科学基金资助项目4132017；科技部国家重大科学仪器设备开发专项资助项目2011YQ030112

在线出版日期：2016-09-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：687-690