用于平板显示 LTPS制备的 ELA光束整形系统

摘要：

介绍了多晶硅薄膜较非晶硅薄膜在平板显示领域的优势以及准分子激光晶化制备多晶硅膜的结晶过程。介绍了透镜阵列实现匀光的原理。阐述了典型的准分子激光退火线型光束整形系统的扩束、匀光、投影等结构。并介绍了连续横向固化技术在准分子激光制备低温多晶硅领域的应用。讨论了准分子激光退火光学系统的发展现状，指出了其在平板显示行业的重要意义。

关键词：激光技术、平板显示、准分子激光退火、低温多晶硅、光束整形、匀光

所属期刊栏目：40

分类号：TN205(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2016-06-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：383-387