激光诱导化学液相沉积Fe膜的研究

摘要：

为了沉积出表面平整、尺寸精确、沉积区域具有可选择性的Fe膜,采用YAG固体激光器,以Fe( CO) 5 为液相前驱体,利用一定厚度的石英片减少副产物,在激光功率密度为1.0 ×106 W/cm2、激光频率为2.5kHz、激光扫描速率为300mm/s、激光重复扫描次数为200次的条件下,沉积出表面平整性较好、并且具有一定厚度的Fe沉积层. 通过测试分析发现,沉积层表面质量受激光功率密度影响较大;激光功率密度是影响到沉积层能否沉积以及沉积厚度的重要参量.结果表明,通过激光诱导,以Fe( CO) 5 为前驱体,可以实现铜表面的Fe膜的沉积.

关键词：激光技术、化学液相沉积、副产物、激光功率密度、沉积层厚度、Fe(CO)5

所属期刊栏目：40

分类号：O644.18(物理化学（理论化学）、化学物理学)

在线出版日期：2016-01-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：136-140