新型绝热微环谐腔型低功耗硅基调制器的设计

摘要：

为了改进绝热微环谐腔型的结构、降低谐振腔腔体损耗，采用了基于绝热过渡曲线的设计方法，提出了新型载流子注入／抽取结构，进行了理论分析和实验验证，取得了绝热微环谐振腔的谐振峰线宽、消光比及频率响应参量数据，比较了其与传统微环谐振腔的损耗。结果表明，使用所设计的外半径为2μm的谐振腔的谐振峰线宽仅为普通微环谐振腔的29．5％，消光比为13．5dB，电阻电容限制带宽提高了4倍，10Gbit／s调制速率下能耗仅为5．1fJ／bit。这一结果大幅改善了绝热微环谐振腔的频率响应特性，降低了功耗。对腔形和载流子注入／抽取结构的研究可以进一步改善绝热微环谐振腔的性能，推动低能耗器件研究的发展。

关键词：光学设计、硅基调制器、绝热过渡曲线、谐振腔

分类号：TN761(基本电子电路)

资助基金：江西省科技厅自然科学青年基金资助项目20122BAB211040

在线出版日期：2015-11-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：885-888