TiO2薄膜的宽光谱特性椭偏法研究

摘要：

为了获得TiO2薄膜的光学常数，采用德国SENTECH生产的SE850宽光谱反射式光谱型椭偏仪，测量和分析了用光控自动真空镀膜机沉积在K9玻璃上的单层TiO2薄膜，得到了TiO2薄膜在300nm～2500nm宽谱上的光学常数曲线和薄膜厚度。根据TiO2的薄膜特性及成膜特点，考虑了表面粗糙层和界面层对薄膜性能的影响，建模时采用Cauchy指数模型和Tauc-Lorentz模型，对建立的各种模型测量得到的数据进行了分析和比较。结果表明，模型“基底／Tauc-Lorentz模型／表面粗糙层”可以得到最小的均方差为0．5544，得到的TiO2薄膜的厚度的测量值与TFCalc软件的计算值最接近。该研究结果对TiO2薄膜多层膜膜系设计和制备有参考价值。

关键词：薄膜、TiO2 薄膜、椭偏仪、薄膜厚度、光学常数

分类号：O484.5(固体物理学)

在线出版日期：2015-11-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：776-779