基于 AD8302的激光外差干涉信号解调技术

摘要：

为了改善传统硬件相位测量中存在电路复杂、测量精度低、工作频带宽窄等诸多缺陷，利用AD8302的良好高频测相能力，设计了一种新的激光外差干涉信号处理系统，分析了其工作原理，并取得了静态、动态实验数据。结果表明，系统测量误差小于0．5°，使外差干涉理论测量分辨率提高到0．088nm，更有利于微振动信号的测量。

关键词：测量与计量、高频测相、AD8302、激光外差干涉、微振动信号

分类号：TN247;TN763(光电子技术、激光技术)

资助基金：教育部博士点基金资助项目2103142012007

在线出版日期：2015-05-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：333-336