MOPA结构准分子激光系统的同步控制

摘要：

为了使主振荡功率放大结构的ArF准分子激光器实现双腔同步放电,采用同步逻辑快速响应双腔放电时序,根据同步控制逻辑自动对双腔延时进行精密调节,使用四位二进制计数器实现粗调搜索,快速缩小双腔延时差,而使用通用数字可编程延时芯片来实现小精度延时调节.结果表明,双腔放电同步调节之后,放电时差稳定在23ns左右,同步抖动小于±3ns,满足4kHz高重复频率下主振荡功率放大结构准分子激光器同步控制的要求.

关键词：激光器、同步控制、同步逻辑、粗调延时、细调延时

所属期刊栏目：39

分类号：TN248.2(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家科技重大专项基金资助项目2013ZX02202004

在线出版日期：2015-05-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：233-236