直边衍射激光驻波场中铬原子的沉积特性研究

摘要：

为了研究沉积基片对激光驻波场的影响,基于半经典理论,采用4阶龙格-库塔算法对直边衍射效应影响下铬原子的3维运动轨迹和3维沉积条纹结构进行了仿真.研究了激光束腰中心到反射镜的距离、高斯激光束腰半径对最终沉积过程的影响.结果表明,通过适当地调节实验参量,可以改变激光驻波场受到衍射效应的程度;当反射镜位于激光束腰截面处、高斯激光束腰半径为62.5 μm时,纳米沉积条纹的质量最理想.这将为原子光刻实验提供有益的理论依据和数据信息.

关键词：激光光学、衍射效应、龙格-库塔算法、高斯光束

所属期刊栏目：39

分类号：O436(光学)

资助基金：国家自然科学基金资助项目11064002;广西省自然科学基金资助项目2012GXNSFAA053229,2013GXNSFDA019002;广西省科学研究与技术开发课题资助项目桂科合1346010-5;桂林市科学研究与技术开发计划资助项目20130122-1;桂林电子科技大学创新团队基金

在线出版日期：2015-05-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：215-219