激光电化学复合加工的冲击空化检测及试验

摘要：

为了测量脉冲激光击穿电解液下产生的声压信号，探讨冲击空化效应对激光电化学复合加工的作用和影响，建立了激光电化学复合加工检测系统。采用水听器采集脉冲激光聚焦电解液下产生的声压信号，使用示波器对声压信号进行存储、XVIEWER软件对声压波形分析和计算，最后对激光电化学复合加工的区域进行拍照，并分析冲击空化效应对激光电化学复合加工后的形貌特性和表面质量的作用和影响。结果表明，脉冲激光聚焦电解液下，产生冲击空化效应，向外辐射3个不同声压信号；随着激光能量的增加，激光冲击空化的3个声压变大，空泡的半径和泡能均增加；在激光电化学复合加工中，激光能量增加，产生的等离子冲击波和射流力越大，工件去除的量越多；空泡脉动促进电解液的流动，对加工区域的微观形貌和表面质量起重要作用。这一结果对复合加工的过程和形貌是有帮助的。

关键词：激光技术、复合加工、冲击空化、声压信号、表面形貌

分类号：TN249(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家自然科学基金资助项目51275218；江苏省自然科学研究基金资助项目 BK2011522；江苏省精密与微细制造技术重点实验室开放基金

在线出版日期：2014-11-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：753-758