新型通用式激光扫描封头检测仪

摘要：

为了克服封头在传统检测中存在样板测量尺寸单一、人工读数精度低、制板耗费资源等缺点，采用激光测距2维轮廓连续扫描方法，设计了一种适用于检测不同尺寸封头形状偏差的非接触式激光检测装置，介绍了激光扫描封头仪的工作原理、扫描方式、系统组成以及各系统具体设计方法，并对内径为800mm的封头进行了实验验证。结果表明，此激光扫描封头检测仪的理想精度可达1mm～2mm，可实现高精度、高效率、自动化检测。

关键词：激光技术、形状偏差、封头、检测

分类号：TN247(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2014-09-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：651-654