355 nm 紫外激光抛光 Al2O3陶瓷工艺的研究

摘要：

紫外激光抛光Al2 O3陶瓷可以有效地降低加工中的热影响区、防止微裂纹的产生。为了得到不同激光工艺参量（激光能量密度、扫描速率、扫描间隔）对Al2 O3陶瓷抛光表面粗糙度的影响规律，采用单因素实验方法进行了355nm紫外激光抛光Al2 O3陶瓷的工艺实验，获得了最优的工艺参量范围。结果表明，当激光能量密度为6J/cm2、扫描间隔为2μm、扫描速率为60mm/s时，抛光后分别获得了较小的表面粗糙度值。这一结果对获得的低粗糙度、高质量的Al2 O3陶瓷抛光表面具有指导意义。

关键词：激光技术、激光抛光、激光能量密度、激光扫描速率、激光扫描间距、Al2O3陶瓷

分类号：TN249(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家自然科学基金资助项目50675038；50805027；广东省自然科学基金资助项目S2013010014070

在线出版日期：2014-08-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：556-560