基于 ZEMAX的半导体激光器匀光设计

摘要：

为了满足半导体激光器能量均匀化的应用需求，基于ZEMAX光学设计软件设计了一套光束整形匀光系统。采用非球面镜与倒置柱面镜望远系统的透镜组合对单模半导体激光器进行准直，得到近似高斯圆光斑；在推导了基模高斯强度分布的匀光投影半径的基础上，利用ZEMAX优化得到两个非球面镜组成的匀光透镜组，在一定范围内可获得能量均匀度达96％以上的圆光斑。同时，实现了一个大功率半导体激光器光纤耦合模块的能量匀化设计，满足对能量匀化要求较高的应用。结果表明，该研究为半导体激光器能量均匀化的应用提供了有效方法。

关键词：光学设计、光束匀化、ZEMAX、半导体激光器

分类号：TN248.4;TN202(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家自然科学基金资助项目51175205；中央高校基本科研业务费专项资金资助项目HUST2011TS057

在线出版日期：2014-08-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：522-526