1064 nm 和355 nm 激光扫描刻蚀覆铜板工艺及质量研究

摘要：

为了研究不同纳秒激光工艺参量（波长、能量密度、扫描速率）以及铜层厚度对激光刻蚀覆铜板质量（包括刻蚀深度及加工面粗糙度）的影响，采用50W的1064nm红外光纤激光器和10W的355nm紫外固体激光器对覆铜板进行了对比刻蚀实验。通过分析红外、紫外激光刻蚀覆铜板材料的作用机理并对比实验结果得知，采用1064nm红外光纤激光作为激光光源时，设置合适的刻蚀参量，能在完全去除铜箔层的条件下，最大限度地保证环氧树脂基底的完整性；而采用355nm的紫外激光作为激光光源时，因环氧树脂材料对紫外波段激光的高吸收率，以及紫外激光对有机材料的光化学作用，基底材料的损伤难以避免，此外，红外光纤激光具有较高的刻蚀效率。结果表明，综合光纤激光器高稳定性和高集成度的特点，若激光直接刻蚀技术被用于大规模覆铜板的工业加工中，红外光纤激光将更具优势性。

关键词：激光技术、1064nm红外激光、355nm紫外激光、覆铜板

分类号：TG156.99;TN249(金属学与热处理)

资助基金：国家自然科学基金重点项目基金资助项目51135005

在线出版日期：2014-08-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：435-440