基片表面的倾斜度对光学势阱的影响

摘要：

为了研究原子光刻实验中基片对汇聚激光场的影响，基于几何光学，采用数值仿真的方法，研究了基片表面的倾斜度对光学势阱的影响。结果表明，当基片表面相对于激光驻波中轴线正倾斜时，基片表面会形成一个无光场区，使光学势阱为0，且在z方向上光学势阱会发生一个零值突变；当基片表面相对于驻波中轴线负倾斜时，基片表面永远存在光场，在z方向上光学势阱不会发生零值突变，且光学势阱相对于z＝0会出现对称现象。该研究结果对激光汇聚原子沉积实验具有指导意义。

关键词：激光技术、激光驻波场、高斯激光、倾斜度

分类号：O43(光学)

资助基金：国家自然科学基金资助项目11064002；浙江省自然科学基金资助项目 LQ13F050002；广西省自然科学基金资助项目2012gxnsfaa53229；2013GXNSFDA019002；天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室开放基金资助项目；广西省自动检测技术与仪器重点实验室基金资助项目YQ14206

在线出版日期：2014-05-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：380-383