10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2014.02.011
基于红外双光路的薄膜在线测厚系统的研究
红外测厚是薄膜在线测厚的主要方法之一,为了解决传统的红外测厚方法中尚存在的易受光源稳定性的影响、不适用于高速薄膜生产线等缺点,采用双光路参比测量的方法设计了一种双光路红外测厚系统,系统将光源的光分成测量路和参考路两路,并使用单个CCD同时收集两路光作为光强传感器。描述了系统的成像原理,讨论了系统对朗伯定律的适用性,最后通过对聚乙烯和聚四氟乙烯薄膜的标定实验论证了系统的精度。结果表明,该方法精度高、鲁棒性好,且能够有效避免光源不稳定带来的影响。
测量与计量、薄膜测厚、红外、双光路
TN247;TH741(光电子技术、激光技术)
国家九七三重点基础研究发展计划资助项目2013CB035405
2014-03-12(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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