基于红外双光路的薄膜在线测厚系统的研究

摘要：

红外测厚是薄膜在线测厚的主要方法之一，为了解决传统的红外测厚方法中尚存在的易受光源稳定性的影响、不适用于高速薄膜生产线等缺点，采用双光路参比测量的方法设计了一种双光路红外测厚系统，系统将光源的光分成测量路和参考路两路，并使用单个CCD同时收集两路光作为光强传感器。描述了系统的成像原理，讨论了系统对朗伯定律的适用性，最后通过对聚乙烯和聚四氟乙烯薄膜的标定实验论证了系统的精度。结果表明，该方法精度高、鲁棒性好，且能够有效避免光源不稳定带来的影响。

关键词：测量与计量、薄膜测厚、红外、双光路

分类号：TN247;TH741(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家九七三重点基础研究发展计划资助项目2013CB035405

在线出版日期：2014-03-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：196-200