激光外差干涉仪相位计的设计

摘要：

外差信号的比相处理是决定外差干涉仪精度、分辨率等性能的重要因素。为了解决比相计的分辨率和检测速度之间的矛盾，采用比相方法进行了测量原理、应用特点及局限性的理论分析，给出了相应的解决方案。结果表明，基于现场可编程门阵列的整周期采样可以提高自相关方法的测量精度，混频过零检测方法可以提高测量速度。

关键词：测量与计量、外差干涉、比相计、相位测量

分类号：TH744.3(仪器、仪表)

资助基金：国家自然科学基金资助项目51075280；上海市大学生创新创业训练计划资助项目201210252025

在线出版日期：2014-01-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：119-123