反远距成像相移剪切散斑干涉检测系统

摘要：

为了扩大传统剪切散斑干涉仪的检测视场，设计了一种反远距成像迈克尔逊式剪切散斑干涉系统。采用负透镜组与标准成像镜头组成反远距成像系统，分析了光路的成像参量，并利用 ZEMAX 软件进行了模拟；讨论了发散光路时间相移的非均匀性，采用等步长相移算法进行相位解算可以弥补非均匀误差；并对中心加载的橡胶平板进行了测量。结果表明，该系统能有效地扩大成像视场，采用3片焦距为-75mm 的平凹镜片可以实现70°视场角的散斑干涉检测，通过调整平凹镜片的焦距和数量可以实时调整成像视场。

关键词：激光技术、散斑干涉、反远距成像、视场

分类号：TN247(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家自然科学基金资助项目61275009；国家科技支撑计划资助项目2007BA000013；教育部博士点基金资助项目20110032120059

在线出版日期：2014-01-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：49-53