激光打标中振镜几何畸变误差多项式拟合校正

摘要：

　　为了消除激光打标系统中由2维振镜物镜前扫描引起的打标点几何畸变误差，分析误差产生的原因，在振镜扫描角度（α，β）理想计算公式的基础上，采用最小二乘曲线拟合的方法，得到用打标点坐标（ x，y）表示的补偿（α，β）误差的拟合多项式，从而对激光打标点的畸变误差进行了校正。通过校正，可以将激光打标点的最大几何畸变误差由3.2 mm降至20μm以内，且计算量小、速度快。结果表明，该误差校正算法可以满足高速、高精度激光打标的需要；同时可通过改变物镜焦距计算出新的补偿公式，以应用于不同参量的激光打标系统。

关键词：激光技术、激光打标、多项式拟合、2维振镜、误差校正

分类号：TN249(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家自然科学基金资助项目10974183

在线出版日期：2013-09-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：601-604