飞秒激光在SiC晶体中制备高温环境用光栅

摘要：

为了研究SiC晶体光学方面的应用,利用飞秒激光冷加工的特点,对SiC晶体进行精微加工,研究了激光脉冲功率和扫描速率对光栅单元的影响,选取适合SiC晶体飞秒加工的工作条件,分别在晶体表面与内部加工出高质量的光栅.对加工好的光栅进行衍射通光实验,计算其各级衍射角,从而验证加工好的光栅周期;并在1300℃高温下进行退火实验,退火前后,光栅参量无明显变化.结果表明,该光栅适合在高温环境下使用.

关键词：光学器件、光栅、飞秒激光、SiC晶体、高温环境

所属期刊栏目：36

分类号：TN253(光电子技术、激光技术)

资助基金：哈尔滨工业大学科研创新基金资助项目HIT.NSRIF.2011121;山东省自然科学基金资助项目ZR2010FQ007

在线出版日期：2013-01-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：745-748