10.3969/j.issn.1001-3806.2012.05.022
基于光学相干层析成像技术的薄膜厚度测量
为了对薄膜厚度进行测量,采用白光谱域光学相干层析成像的测量方法,进行了理论分析和实验验证,对以玻璃为基片的单层和多层薄膜样品进行了层析成像实验,获得了样品的2维层析图像.结果表明,该系统不仅能显示薄膜样品内部的微观结构,而且能从2维层析图像中得到单层和多层薄膜的厚度(分别为68 μm和30μm),测量值与理论值相吻合,从而验证了测量理论正确性.该系统具有较高分辨率,可实现快速成像,满足实际工业测量需要.
测量与计量、薄膜厚度、谱域、光学相干层析成像
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TH744.3;O484.5(仪器、仪表)
渭南市自然科学基础研究计划资助项目2011KYJ-3;渭南师范学院科研计划资助项目12YKS021
2013-01-08(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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