液晶光栅相控阵偏转波前测量方法研究

摘要：

为了测试相控阵激光雷达的关键器件液晶光栅相控阵的偏转光束波前,以监控和评价雷达扫描光束的质量,采用带有光束变向功能的径向剪切干涉测量方法,进行了理论分析和实验验证,取得了口径为10mm×10mm的偏转波前测试系统与商用WYKO干涉仪的比对测试数据.两种仪器对同一块平面样板测出的波前之差的峰谷值小于λ/20,均方根值小于λ/200,还取得了实测液晶光栅相控阵不同偏转光束的波前数据.结果表明,该方法可以对液晶光栅相控阵的偏转波前进行高精度测试.

关键词：测量与计量、偏转波前测量、径向剪切干涉、液晶光栅、光学相控阵

所属期刊栏目：36

分类号：TN247(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家"十一五"预研课题资助项目H04010201

在线出版日期：2013-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：645-648