双层膜椭偏数据处理的新算法

摘要：

为了准确测量双层透明膜,有效地结合了模拟退火法和单纯形法的优点,提出一种模拟退火-单纯形混合算法来处理双层透明膜的椭偏数据.在单波长测量时,仅测量1组椭偏参量,可以求解双层透明膜任意两个参量;测量两组以上椭偏参量,可以同时反演双层透明膜4个参量,求解薄膜折射率和厚度精度分别达到0.0002和0.07nm.结果表明,模拟退火-单纯形混合算法反演双层透明膜参量是可行和可靠的,且有较强的样品适应性.该算法适合于单波长椭偏仪对双层及多层膜的反演及实际测量.

关键词：薄膜、椭偏数据处理、双层透明膜、模拟退火-单纯形混合算法

所属期刊栏目：36

分类号：O484.5(固体物理学)

资助基金：广东省科技计划资助项目C60109,2006B12901020

在线出版日期：2013-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：589-592