自组装方法制作微角反射器的有限元分析

摘要：

为了研究微光机电系统的元器件——微角反射器的制作理论和过程,采用自组装方法设计制作角反射器,通过光刻和选择性蚀刻确定角反射器图案,当把牺牲层腐蚀掉后,由品格失配双层结构形成的铰链在应力驱动下带动镜面发生旋转并最终达到平衡位置,从而完成自组装制作过程.采用适于求解弹性应力几何非线性问题的有限元方法进行了计算分析,并仿真得到不同角度的微反射镜和微立方箱.通过分别调整镜面和铰链尺寸、应变双层厚度和上盖层厚度,仿真分析了镜面的线度、角度和平整度对旋转角度的影响.结果表明,自组装方法是制作微光机电系统中3维微/纳米元器件的一种非常有效的方法,具有很好的发展前景.

关键词：光学器件、自组装方法、微光机电系统、角反射器、有限元法

所属期刊栏目：35

分类号：TN409(微电子学、集成电路（IC）)

在线出版日期：2012-03-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：820-823,827