KrF准分子激光刻蚀PMMA研究

摘要：

为了研究准分子激光刻蚀聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)的内在机理,将波长为248nm的KrF准分子激光垂直照射到PMMA材料表面,改变激光能量和脉冲数目,在大气背景下进行实验,照射后样品的表面形貌及化学结构用扫描电子显微镜( SEM)、3维形貌分析仪、X射线光电子能谱(XPS)等手段进行分析.SEM测试表明,在刻蚀区域出现孔状结构,说明刻蚀过程中有气体成分产生.XPS测试表明,激光照射后C1s峰的强度减弱而O1s峰增强,据此推测PMMA侧链上的甲基被刻蚀掉且空气中的O2参与了反应.另外还研究了激光能量和脉冲数目对刻蚀率和表面粗糙度的影响.结果表明,随着激光能量和脉冲数目增加,刻蚀率和粗糙度并不是一直呈现递增的趋势.

关键词：激光技术、光与物质相互作用、激光刻蚀、高分子聚合物、有机玻璃

所属期刊栏目：35

分类号：TN249(光电子技术、激光技术)

资助基金：山东省自然科学基金资助项目Y2008A16;菏泽学院科研基金资助项目XY09WL02

在线出版日期：2012-01-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：708-711