步进电机脉冲当量及回程差的微位移测量系统

摘要：

为了精确测量步进电机的脉冲当量和同程差,提出了一种基于薄膜干涉原理的激光微位移测量系统.该系统以He-Ne激光器为光源,配以牛顿环仪系统、面阵电荷耦合器视频信号采集系统、计算机及数据处理软件等.采用条纹记数法实现微位移测量,具有1/400波长的位移分辨率.与传统测量方法相比,其精度、灵敏度及稳定性都有较大提高,特别适合范围在微米及微米以下的位移测量.对TSA50-C型商用步进电机进行了测量.结果验证了这种测量系统在普通实验室环境噪声中可以达到纳米级的位移测量精度.结果表明,对于5μm以下的脉冲当量及回程差的测量,该测最系统的相对误差分别为2.63％和0.44％.

关键词：测量与计量、激光技术、脉冲当量、回程差、微位移、He-Ne激光、牛顿环仪

所属期刊栏目：35

分类号：TH744(仪器、仪表)

资助基金：中央高校基本科研业务费专项资助项目lzujbky-2010-k08

在线出版日期：2012-01-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：603-605