脉宽1ms和10ns的激光损伤光学薄膜元件的比较分析

摘要：

为了研究脉宽为毫秒量级的激光对光学薄膜的损伤,根据国际标准IS0-11254和国家标准GB/T-16601建立了光学薄膜损伤阈值测试装置.测量了脉宽1ms和10ns、波长1064nm激光作用下TiO2/SiO2增透膜的损伤阈值,观测了损伤形貌,测量了损伤厚度及损伤半径,分析了毫秒量级激光损伤光学薄膜的损伤机理并与纳秒激光引起的损伤进行比较.脉宽1ms的激光致使光学薄膜损伤的能量密度阈值比脉宽10ns的激光高一个数最级,功率密度阈值低4个数量级,损伤半径大180μm,损伤厚度大200μm.结果表明,脉宽为毫秒量级的激光对光学薄膜的损伤更为剧烈,不但损伤了光学薄膜的膜层,而且对光学薄膜的基底也造成了毁灭性的损伤.该结果可供脉宽为毫秒量级的激光与光学薄膜相互作用的研究参考.

关键词：薄膜、长脉冲激光、损伤阈值、损伤机理、基底损伤

所属期刊栏目：35

分类号：O484.4+1(固体物理学)

在线出版日期：2011-11-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：477-480,542