10.3969/j.issn.1001-3806.2011.03.033
常用间隔层材料软X射线多层膜的设计
为了研究常用间隔层材料的软x射线多层膜的材料设计,利用Lawrence-Livermore国家实验室提供的软X射线多层膜设计程序进行模拟计算,得到了软X射线波段内的具有高反射率的膜系.结果表明,Mo在相当大的波段范围内具有良好的光学特性;除了在12.44nm是首选膜系外(除4.36nm外),其它波长都有较高的反射率;U作为吸收层材料,在相当大的波段范围内,与其它间隔层材料配对的多层膜也具有较高的反射率.这对多层膜膜系的材料选择有一定的指导意义.
薄膜、软X射线多层膜、多层膜设计、间隔层材料
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O484.4+1(固体物理学)
国家八六三高技术研究发展计划资助项目;西华师范大学博士科研启动基金资助项目10B014
2011-09-06(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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