常用间隔层材料软X射线多层膜的设计

摘要：

为了研究常用间隔层材料的软x射线多层膜的材料设计,利用Lawrence-Livermore国家实验室提供的软X射线多层膜设计程序进行模拟计算,得到了软X射线波段内的具有高反射率的膜系.结果表明,Mo在相当大的波段范围内具有良好的光学特性;除了在12.44nm是首选膜系外(除4.36nm外),其它波长都有较高的反射率;U作为吸收层材料,在相当大的波段范围内,与其它间隔层材料配对的多层膜也具有较高的反射率.这对多层膜膜系的材料选择有一定的指导意义.

关键词：薄膜、软X射线多层膜、多层膜设计、间隔层材料

所属期刊栏目：35

分类号：O484.4+1(固体物理学)

资助基金：国家八六三高技术研究发展计划资助项目;西华师范大学博士科研启动基金资助项目10B014

在线出版日期：2011-09-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：415-417