飞秒激光作用下薄膜的热力学研究

摘要：

为了描述飞秒激光与金属薄膜相互作用过程中的非平衡传热现象,采用有限差分的方法对金属薄膜内的温度场进行了1维数值模拟.对双温模型中电子-晶格耦合系数G、激光脉宽和电子的弹道运动等因素对金属薄膜表层电子和晶格温度的影响进行了理论分析.结果表明,G影响材料表面电子的温升,电子和晶格温度平衡时的延迟时间随着G的增大而减小,二者呈指数变化关系.这一结果对改善半导体元件中薄膜的温升是有帮助的.

关键词：超快光学、非平衡、双温模型、金属薄膜

所属期刊栏目：34

分类号：O484.2(固体物理学)

在线出版日期：2010-10-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：708-711