10.3969/j.issn.1001-3806.2010.05.030
CO2激光直写制作聚酰亚胺多模波导技术的研究
为了研究适合制作大面积波导的CO2激光直写制作聚酰亚胺多模波导技术,采用理论模拟和工艺研究的方法,通过建立激光加工模型,得到了激光扫描线的温度分布与加工参量的关系,提出了增加波导侧面陡直性的方法;通过对实验结果的分析,研究了加工参量对波导材料性能、波导结构和表面粗糙度的影响.结果表明,控制激光功率密度、直写速率和光阑位置可以控制波导的宽度、侧面陡直性和表面粗糙度.
光电子学、激光直写、CO2激光、聚合物波导
34
TN249(光电子技术、激光技术)
华侨大学校基金资助项目09BS103
2010-10-29(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共4页
686-689