MEMS金属微构件的激光微喷丸强化技术分析与展望

摘要：

介绍了适用于金属微构件处理的激光微喷丸技术,通过控制工艺参量和合理的路径规划,在试件表面产生有益的残余压应力分布,能有效提高工件的抗疲劳和磨损性能.概述了微喷丸技术的研究现状,总结了激光微喷丸的机理、关键技术和影响因素,分析了激光微喷丸研究中存在的问题,为今后激光微喷丸技术的进一步研究提供指导.

关键词：激光技术、激光微喷丸、微构件、残余应力、疲劳性能

所属期刊栏目：34

分类号：TN249;TG156.99(光电子技术、激光技术)

资助基金：教育部博士点基金资助项目200802990004;江苏省高校自然科学基金重大项目基金资助项目08KJA460002;江苏省自然科学基金资助项目BK2009219;江苏大学校科研项目基金资助项目CX08B_06x

在线出版日期：2010-10-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：665-669