光栅干涉位移测量技术发展综述

摘要：

介绍了经典双光栅测量系统、非对称双级闪耀光栅测量系统、单光栅测量系统、基于2次莫尔条纹的光栅测量系统、同心圆光栅2维位移测量系统、2维光栅位移测量系统的测量原理,阐述了各系统的关键问题及不足之处.同时结合双频激光干涉仪外差干涉思想,在单光栅测量系统的基础上,提出了双波长单光栅式纳米级位移测量方法,并通过分析系统特点指出该方法能实现大量程测量、获得纳米级的精度和分辨力.在对各种测量方法进行综合比较之后,总结了光栅测量的关键问题,并展望了光栅干涉位移测量的未来发展方向.

关键词：测量与计量、位移、光栅、干涉条纹

所属期刊栏目：34

分类号：TH741(仪器、仪表)

资助基金：国家自然科学基金资助项目50875258

在线出版日期：2010-10-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：661-664,716