激光诱导等离子体加工石英微通道的研究

摘要：

为了在熔融石英基体内制作出高质量的微通道,分别用调Q的Nd∶ YAG脉冲激光器输出的基频光(1064nm)和经过倍频晶体后的混合光(倍频光为70%,基频光为30%)辐照熔融石英玻璃,通过诱导等离子体加工微通道,并初步分析了基频光与混合光加工产生差别的原因.结果表明,用混合光加工的通道内壁较光滑,加工速度快,所加工的通道最深达8mm.

关键词：激光技术、微通道、激光诱导等离子体、熔融石英

所属期刊栏目：34

分类号：TG664

资助基金：国家自然科学基金资助项目50375031;贵州省国际科技合作计划资助项目黔科合国字200411004号;贵州省优秀科技教育人才省长专项资金项目黔省专合字2005199号;2006年度教育部博士点基金

在线出版日期：2010-09-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：433-435,451