小型化准分子激光器气体性能的优化

摘要：

对于新研制的准分子激光系统而言,激光气体的性能具有非常重要的作用,激光系统的混合气体配比与单脉冲能量、放电稳定性和寿命等性能参量有密切关系.为了获得最佳气体配比,在自行研制的小型化XeCl准分子激光器的基础上进行了激光气体性能优化实验,分析了Xe,HCl气体比例对激光性能的影响,通过理论分析和实验结果给出了Ne和He两种不同缓冲气体下的激光性能差异,并给出了该激光系统的优化气体成分和有效提高激光效率方法.实验结果为研制商业化小型准分子激光器件提供了支持和依据.

关键词：激光技术、准分子激光、气体优化、激光性能

所属期刊栏目：34

分类号：TN248.2(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2010-09-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：529-531,551